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二氟甲烷(CH2F2)
发布时间：2024-12-24
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化学式 CH2F2
中文名称 二氟甲烷
英文名称 Difluoromethane
CAS No. 75-10-5
分子量 52.02
比重 (Air = 1) 3.82
充装系数 0.7kg/L
应用 二氟甲烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。
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